高能量、大束流功率电子加速器的应用已经使X射线辐照装置成为现实，它可以作为伽马辐照装置的一个替代，应用在医疗用具灭菌和食品灭菌、保鲜等领域；尤其是辐照那些需要较高穿透力射线的物品，X射线辐照装置尤其具有优势。事实上，在一些国家，已经存在了一些这样的辐照消毒中心，证实了这种方法的可行性。

    最近的一些数据表明，投资和运营能产生5到7MeV射线的电子加速器所需的投资额和运营成本（主要是电费）开支要低于投资和运营超过200万居里钴源所需的相关费用（每年需重新添加一部分钴源以抵消其衰减造成的加工能力的减弱）。此外，加速器可以通过开关方便的操作，这是其另外一个吸引因素。

当加速电子轰击任何物质时，都可以产生轫致辐射或X射线光子。当电子同核外电子相互作用时，就会产生单能量特征X射线光子；轫致辐射则是通过加速电子同原子核中的核子相互作用产生的。高能轫致辐射X射线是电离辐射的一种，具有很高的穿透能力。从大功率、高能量工业X射线装置中产生的X射线的强度远远超越了那些从常见的医疗设备中发出的X射线。

    产生X射线通常需要在电子束和待处理产品中间加入一个金属靶。为了提高电子到光子的转化效率，一般会使用高原子序数的金属（重金属）制成的靶。带有水冷系统的钽靶比较适合做成大尺寸而通常被优先选用。

    首先，X射线的大部分能量集中在一个前进方向的扇形区域内，这非常有利于规划辐照系统的结构。不过如果要控制物质对X射线光子的吸收率，即剂量率，还需要通过调节靶到物体的距离、束流强度和束下传输速度等参数共同实现。

    X射线的出射主要集中在一个方向上，这同伽马射线源的向四周发生相等的射线是不同的。这一特性方便了X射线对托盘承载货物的辐照处理。X射线的穿透力也远高于电子束，甚至强于伽马射线。而且，X射线的剂量输出率至少比伽马射线高出一个数量级，但是却明显不如电子束。

    工业应用领域中X射线辐照法的优势如下：
    •可控的剂量率，有助于单体聚合反应。
    •属于冷加工，消除了热处理给物体带来的副作用。